在半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理工程中，不可避免的會(huì)產(chǎn)生各種污染物的廢水，以含氟離子，含銅離子，含磷廢水的危害為嚴(yán)重。

半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理工程在以上三種污染廢水的處理現(xiàn)狀，涉及到的具體工藝流程及生產(chǎn)條件進(jìn)行分析。介紹離子交換樹脂法在各半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的應(yīng)用，未來在處理含磷和含氟半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的展望。

半導(dǎo)體行業(yè)廢水處理現(xiàn)狀

含氟離子半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的處理

在半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理工程中，化學(xué)沉淀和混凝沉降法的組合工藝是為經(jīng)濟(jì)型處理方法，形成氟化鈣絮凝沉淀法，化學(xué)沉淀法進(jìn)行含氟廢水的處理原理：

調(diào)整p H為6-7左右，加入的過量的Ca Cl2和適量的絮凝劑，形成的沉淀Ca F2成為礬花，部分污泥循環(huán)成為載體，促進(jìn)絮凝效果，在沉淀池通過重力沉降實(shí)現(xiàn)泥水分離，一級(jí)反應(yīng)能夠去除80%的氟，二級(jí)絮凝添加PAC進(jìn)一步處理氟，氟化鈣及其其他形態(tài)沉淀，利用污泥泵輸送到污泥沉淀池，用板框式脫水機(jī)壓成泥餅外運(yùn)，產(chǎn)生的壓濾液進(jìn)入其他的系統(tǒng)進(jìn)一步處理。此工藝流程比較簡(jiǎn)單，費(fèi)用也比較低，處理水中含有5-10ppm的氟離子，和Ca F2本身的溶解度有關(guān)系，但對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)的含氟廢水處理還是具有很大的適用性。

含磷半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理現(xiàn)狀

半導(dǎo)體行業(yè)的含磷廢水中磷主要以PO43-為主，可以通過調(diào)整p H，加入Ca Cl2生成Ca5(PO4)3OH沉淀，難溶于水。采用的方法為化學(xué)沉淀法和混凝劑沉降法的組合工藝，形成羥基磷酸鈣，由上述可知，化學(xué)沉淀法進(jìn)行含磷廢水的處理原理：

含磷廢水p H一般在2左右，一級(jí)反應(yīng)池的p H調(diào)整到5-6左右，二級(jí)反應(yīng)池p H調(diào)整到8.5-9，三級(jí)反應(yīng)池p H調(diào)整到9-9.5（確保完全生成羥基磷酸鈣），加入的過量的Ca Cl2和適量的絮凝劑，形成的Ca5(PO4)3OH沉淀，部分污泥循環(huán)成為載體，促進(jìn)絮凝效果，在沉淀池通過重力沉降實(shí)現(xiàn)泥水分離。此工藝流程比較簡(jiǎn)單，費(fèi)用也比較低，但是要求系統(tǒng)調(diào)整及時(shí)，處理水含磷波動(dòng)比較大，影響處理水的排放，對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)的含磷半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理還是具有很大的適用性。

半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的含氟，含磷半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的處理主要采用化學(xué)沉淀法和混凝劑沉降法的組合工藝，形成沉淀物實(shí)現(xiàn)泥水分離。簡(jiǎn)單的工藝流程，低費(fèi)用，適用于現(xiàn)階段的半導(dǎo)體產(chǎn)生廢水處理，但是考慮到資源的浪費(fèi)和對(duì)環(huán)境的污染，此工藝不能從根本上解決廢水問題。離子交換樹脂法技術(shù)逐漸趨于成熟，未來半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理領(lǐng)域?qū)⑻娲鷤鹘y(tǒng)的化學(xué)混凝等工藝，因此，研制對(duì)各廢水具有交換容量大、高選擇性、再生性能好、價(jià)格便宜以及吸附解吸過程可逆性好的離子交換樹脂，也是今后半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理工作者的研究方向。

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